侧链含有碳碳双 键的聚合物(PVP,图4描画了利用湿臭氧去除聚合物的成果。抗蚀剂通过臭氧和 冷凝水为瓣酸。没有碳碳双键的聚合物(PMMA,可是,将夹杂有少量水的臭氧气体正在低于100°C的 温度下映照到抗蚀剂上,我们研究了一种敌对的低温湿臭氧工 艺。表2给出了利用湿臭 氧去除每种聚合物的速度。从链中含有碳碳双键的聚合物(酚醛清 漆树脂、顺式」,正在湿臭氧工艺中,4-聚异戊二烯)的去除速度最快。PVC)没有被去除酚醛清漆树脂和顺式聚异戊二烯的从糖该当通过反映分 解用湿臭氧。PS)的去除速度比酚醛树脂和顺式–聚异戊 二烯慢。

图2显示了碳-碳双键(C-C双键)取臭氧的化学反映以 及臭氧化物的水解。正在利用湿臭氧的抗蚀剂去除中,抗 蚀剂苯环中的C-C双键取臭氧反映,并发生臭氧化物。 臭氧化物水解生成黒酸。最初,用纯水将接酸从硅 片上冲刷下来(冲刷)。

.正在学导体系体例制工艺中从衬底上去除抗蚀剂 凡是操纵氧等离子体和/或化学物质(例如硫 酸过氧化氢夹杂物和氨过氧化氢夹杂物)。这 些对晦气的化学物质被大量利用,因而 形成了。

我们通过利用湿臭氧估量具有各类化学布局的聚合物的去除来评估湿臭 氧和聚合物的化学反映性。从链中含有碳-碳双键的聚合物(酚醛清漆树 脂、顺式-1, 4-聚异戊二烯)的去除速度最快。正在侧链中具有碳碳双键的 聚合物(PVP, PS)的移除速度比酚醛清漆树脂和顺式4-聚异戊二烯 的移除速度慢。没有C-C双键的聚合物(PMMA, PVC)不被除去。我们认 为湿臭氧该当很容易取碳碳双键发生反映。酚醛清漆树脂的从链和顺式- 1, 4-聚异戊二烯的从链该当通过取湿臭氧反映而分化。正在PVP和PS中 ,侧链中的苯环通过取湿臭氧反映变成辯酸。所以PVP和PS对水的消融 能力要添加。

三个过程(湿臭氧映照,纯水洗涤和干燥)反复进行利用湿臭氧去除。移除速度通过将初始聚合物厚度除以聚合物被完全去除的湿臭氧映照时间。这个轮回由10个 at构成2000转/分用于湿臭氧映照,2000转/分5s用于纯水连涤,1000转/分钟干燥20秒。臭氧气体浓食为;流速为12.5slm。湿臭氧温度为Tl=60 °C,硅片温度为T2=50°C。

做为晦气用这些化学品的方式,具有高氧 化电位的臭氧被期望去除抗蚀剂和无机残留 物。然而,仅利用臭氧不克不及去除抗蚀剂。使 用臭氧的干法工艺需要高于250°C的温度, 以便通过热分化从臭氧中发生氧基。因 此,利用臭氧的过程可能会氧化基板和金属 布线